2013年初美新半导体一台nikon G7 Leveling机能无法使用,导致该光刻机对原片(wafer)平整度要求非常高,否则就会影响产品质量,经我公司技术人员检查维修后,恢复了Levelling机构的,产线的运行更轻松顺畅
该G7光刻机的对版故障频发,影响产线的产能,我公司技术人员检查确认后很快找到问题的所在,彻底解决了此对版异常,并保持良好的稳定性
得到了客户的高度好评